1. Toxic Gas Duct 施工
保护Toxic Gas管道免受外部冲击，为安全供应的Duct安装工作
2. Toxic Gas 管道安装及焊接作业
高纯度Gas从供给装置到设备的稳定、灵活供应的管道安装工作。
3. Toxic Gas Heater Line 安装作业
低压 Gas在供给时压力低，在管道上设置了 Heater Line 提高供给压力以供应伟目的
4. 标准材料使用
惰性气体（16种），可燃气体（15种）中有single Melt材质
腐蚀性气体（13种）采用Double Melt材质管网标准化。（Precursor Liquid : Double Melt）
5. 主要工具使用
Bending 作业
(1). Bending作业为了防止Tube内部组织裂纹，使用R65以上的Long-Bender进行作业。
(2). 不能进行Bending作业的区间使用Welding Elbow进行作业。
Tube Cutting 作业
Tube Cutting面加工
Welding 作业
1. 服装状态:无尘服, 无尘手套(Clean Glove) 口罩, 无尘鞋
2. 焊接条件
a.Gas Backing :Ar 6N 99.9999 Spec,
b. Purge Header H2O : ≤50 ppb
c. Purge Header O2 : ≤200ppb
d. Purge Header Particle 管理基准:0.014㎛ 10ea 以下 10分 3回 连续 Check
e. Purge 用 Tube Hose: 1/8” SUS 316L Tube or 1/4”SUS 316L Tube 应用
f. Shield gas :Ar 纯度 99.999%
g. Weld Head → Calibration 调整以上有无确认
h. Weld Head → IPA 使用清扫作业(随时确认)
i. Back Purge→ 所有 Gas Line 末端部位 Manometer 应用后焊接
6. Test 作业基准
