1. Chemical 施工重点事项 上部FAB 收尾现场 Process 使用的有/无机 Chemical 供应管道的品质及安全为目的而施工, 施工时注意 Particle 及周围材料破损,使其维持 High Purity。
管道工程重点品质管理 Point
股长工程重点品质管理 Point
2. Support 安装
-Support 安装: C-Channel(60*30*4T), 基本 1.2M的间距安装. -电工关卡(I-Lod) 专用Cover安装 -膨胀螺丝安装后玻璃胶收尾
3. Chemical 管道安装
4. Chemical 管道施工
5. Chemical 管道检查 Flow
6. Chemical 施工
7. Leak & Request 构成(列)
8. CLK 通讯 Flow